1、電子半導(dǎo)體廢水的種類

由于半導(dǎo)體公司的產(chǎn)品不同，各公司生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的廢水種類都不一樣，各公司對(duì)產(chǎn)生的廢水來(lái)源不一樣所進(jìn)行的分類也不一樣?？偟膩?lái)水，半導(dǎo)體行業(yè)的廢水可以分為含氟廢水、含磷廢水、有機(jī)廢水、研磨廢水、氨氮廢水和酸堿廢水。如無(wú)錫華潤(rùn)上華沒(méi)有含磷廢水，上海天馬沒(méi)有研磨廢水。

2、電子半導(dǎo)體廢水的來(lái)源

含氟廢水主要來(lái)源于來(lái)自于自芯片制造過(guò)程中的擴(kuò)散工序及化學(xué)機(jī)械研磨工序，在對(duì)硅片及相關(guān)器皿的清洗過(guò)程中也多次用到氫氟酸。對(duì)粘膜、上呼吸道、眼睛、皮膚組織有極強(qiáng)的破壞作用。污染物主要為氟離子。含磷廢水主要來(lái)源于生產(chǎn)工程中的鋁刻蝕液。有機(jī)廢水，由于生產(chǎn)工藝的不同，有機(jī)溶劑的使用量對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)而言具有很大的差距。但是作為清洗劑，有機(jī)溶劑仍然普遍使用在制造封裝的各個(gè)環(huán)節(jié)上。部分溶劑則成為有機(jī)廢水排放。有機(jī)廢水主要來(lái)源于IPA溶劑、顯影液、TO刻蝕液、酸洗塔酸堿廢水、酸洗塔有機(jī)廢水。